Ứng dụng: Kiểm tra điện tử và chất bán dẫn thời gian thực và tự động, phân tích lỗi
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
kV range
30-160 kV
Max. beam current
600 μA
Max. tube power
20 W
Min. feature recognition
<0.1 μm up to 6W tube power
Geometric magnification
up to 2,400x
Detector
3Mpixel (1,944 x 1,536 pixels) 75 μm pixel size 26 fps update rate
Max. inspection area
510 × 510 mm
Max. board size
580 × 580 mm
Max. tilt angle
60°
Cabinet size
W: 1,819 mm (excl. operator console) H: 1,998 mm D: 1,728 mm
Vibration isolation
Anti-vibration mounts (standard)
Monitor
Single 30” or dual 22” display
X-ray safety
1 μSv/hr (to IRR 99)
Xem Catalog tại đây