Kết hợp kiểu với loại chính hiệu nhỏ 50 mm bộ truyền động S130A. Bộ truyền động nhỏ, có sẵn đo trượt và đo gợn sóng.
Đạt được độ thẳng chính xác cao nhất 0,3 μm/50 mm.
Dễ dàng điều chỉnh cân bằng bằng chức năng hiệu chỉnh nghiêng.
-
Phương pháp đo: Đo trượt
-
Dải đo: Trục X 50 mm (Bộ truyền động đo)
-
Tốc độ đo: 0,15 mm/s đến 1,5 mm/s